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晶圓潔凈廠房凈化空調(diào)設(shè)計準則 名詞解釋： 1、晶圓 晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999%。 1、晶圓潔凈廠房 潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除…